本文件规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区、GB/T25915.7所述的隔离装置中的空 气洁净度等级。 本文件适用于粒径挡下限为0.1μm~5μm 的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测。 超细粒子(<0.1μm)的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点,规定使用 光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器(LSAPC)判定大粒子(>5μm)的粒子浓度,用 M 描述符对其 量化。 本文件不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。
