本文依据 ANSI/ESD SP15.1-2011 标准,系统讲解半导体无尘手套电阻测试的完整方法:区分材料固有电阻与使用中电阻,说明所需设备、环境与样品要求,给出裸手基线、三档电压实测的操作步骤、结果判读区间及常见误区,可直接用于现场验收与来料检验。